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Cage à photons sphérique à base d’InP

Faits marquants

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le 27 mai 2015 /

Une nouvelle famille de nanostructures photoniques pour le contrôle 3D de la lumière a été récemment démontrée par l’INL basée sur la réalisation de micro-résonateurs optiques 3D appelées ‘Cages à photons’ qui permettent de stocker les photons dans un espace de faible volume et de faible indice (éventuellement de l’air). (C. Sieutat et al.,Opt. Express. 21, 20015 (2013)).

La fabrication de tels objets combine les technologies planaires usuelles (croissance, lithographie, gravure) avec des mécanismes de déformation mécanique spontanés, mais contrôlés, obtenus par la relaxation de précontraintes présentes au sein de couches semi-conductrices libérées de leur substrat pour générer des objets 3D, véritables origamis optiques.
Dans le cadre du projet AURORE (PEPS CNRS 2014) nous avons fabriqué une cage à photons sphérique en mettant en œuvre la simulation numérique du processus de sous-gravure inversée afin de « déployer » la structure tridimensionnelle de type C60 sur le plan du masque en suivant le chemin inverse de la relaxation des contraintes.
Légende: Vue au microscope électronique à balayage d’une cage à photon sphérique obtenue par relaxation de contrainte d’une hétérostructure à base d’InP de 400 nm d’épaisseur
Contact:
Jean-Louis LECLERCQ - jean-louis.leclercq@ec-lyon.fr
Référence:
Self-assembly “micro-origami” photon cages as hollow micro-resonators
A. Danescu, C. Chevalier, R. Artinyan, P. Regreny, G. Grenet, S. Callard, P. Rojo-Romeo, X. Letartre, J.L. Leclercq
Collaboration:
Laboratoire de Nanotechnologies et Nanosystèmes (UMI CNRS - 3463) Université de Sherbrooke, J1K 0A5, Canada


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